炭化ケイ素ボートホルダーは、従来の石英ボートホルダーの代わりに光起電力ウエハ拡散装置に使用されるべきである。
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太陽電池チップ炭化ケイ素ボート
LPCVD長背膜のグラファイトボート
こん棒本
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