SiCカンチレバーパドルは光起電力及び半導体ウエハ搭載システムの重要な部品であり、現在、半導体用CVDコーティング付きパドルは完全に輸入に依存している。
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LPCVD長背膜のグラファイトボート
発電所用脱硫ノズルとカスタム加工品
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